高纯硅的制备化学方程式：SiO2+C=Si+2CO，Si+2Cl2=SiCl4，SiCl4+2H2=Si+4HCl，反应条件都是：高温。

高纯硅的制备一般首先由硅石（SiO2）制得工业硅（粗硅），再制成高纯的多晶硅，最后拉制成半导体材料硅单晶。多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。工业硅，意思就是用于工业的金属冶炼，俗称金属硅。高纯硅是丛工业硅的基础上进一步提纯所得，又分为单晶硅和多晶硅。高纯的单晶硅是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的一些元素，可以形成p型硅半导体单晶硅惨入一些元素做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。在开发能源方面是一种很有前途的材料，可以做成二极管、晶闸管宇宙航行的重要材料等。